電子級雙氧水純化的制備方法包括電解法、仲醇氧化法和烷基蒽醌法。蒽醌法是工業中生產過氧化氫的主要方法，其工藝為烷基蒽醌（例如2-乙基蒽醌）與有機溶劑配置成工作溶液。
在壓力0.3MPa，溫度55~65℃條件下和催化劑（例如靶）存在條件下通入H2，實現氫化還原后，后續經萃取、再生、精制和濃縮制得質量分數為20%~30%的過氧化氫水溶液。
目前行業內較為領先的蒸發-精餾法技術由日本三菱瓦斯化學公司開發，將工業雙氧水在蒸發器中蒸發，氣液混合物經氣液分離器分離，蒸汽進入分凝器，部分蒸汽被冷凝下來成為凈化產品。
離子交換是利用只用陽離子交換膜單項濾除金屬離子，其中日本公司提出在工業過氧化氫水溶液中加入絮凝劑，然后利用細濾器過濾除去不溶性二氧化硅；美國公司提出將工業雙氧水溶液流過2根混合離子交換柱和1根有機物吸附柱從而實現純化。
中國相關公司通過負載螯合劑SBA-15分子篩過濾，通過超濾膜過濾從而實現純化。同時也可以將膜過濾與活性炭吸附和多級精餾配合使用從而實現純化。
溶劑萃取法是通過工業雙氧水在兩種互補相溶的溶劑中的溶解度和分配系數不同，經過反復多次萃取，從而得到純度較高的雙氧水，例如可以在重芳烴和磷酸三辛酯在30℃~50℃條件下緩和完成萃取；也可利用利用極性溶劑和非極性溶劑混合處理。
綜上所述，電子級雙氧水純化處理過程涉及精密儀器的研發和相關工藝的探索，國內公司目前正在加速追趕，打破海外壟斷。
